R&D用スキャン式エキシマ照射装置
172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。
特徴
- スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。
- オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。
装置仕様
| R&D用スキャン式エキシマ照射装置 | |
| 型式 | ASM86 Excimer |
|---|---|
| 発光波長 | 172nm |
| 処理対象物 | W86mm×D120mm以下、厚み40mm以下 |
| 照射距離調整 | 調整用ラボジャッキ付（照射距離0～40mmまで可変） |
| 外形寸法 | 本体：（Ｗ）432mm×（D）510mm×（Ｈ）520.5mm （突起物を除く） |
| 概算重量 | 約25kg （本体 20kg、照射ユニット 4.8kg） |
| 本体材質 | SUS304 / A5052P / SPCC |
| 照射ユニット | |
| ランプメーカー | 浜松ホトニクス株式会社製 |
| 型式 | FLAT EXCIMER EX-86U L13129 |
| 照射強度 | 50mW/cm2 |
| 照射面サイズ | 86mm×40mm エキシマ有効照射距離 5mm以内推奨 |
| 冷却方式 | 強制空冷 |
| 搬送部 | |
| テーブル材質 | A5052P（位置合せ用スリット付） |
| 遮光カバー | PVC（UVカットイエロー） |
| 処理速度 | 0.1mm/sec～40mm/sec |
| 処理可動範囲 | 240mm |
| その他 | |
| タッチパネル | 4インチ モノクロタッチパネル |
| レシピ数 | 20レシピ（処理速度、照射時間設定可能） |
| モニタ機能 | 現在速度・現在位置・残り時間 表示機能付き |
| 排オゾン設備 | オゾン触媒内蔵（ファン強制排気） |
| ユーティリティ | AC100V 50/60Hz 400VA |
