レンタル装置一覧

ASM401oz

有効照射エリア 50mm×50mm
コンパクトで、オゾン分解装置一体型。スライドガラスなど小型のワークでご利用ください。

ASM1101N

有効御照射エリア 100mm×100mm
110W一灯タイプ。

ASM2001N

有効御照射エリア 200mm×200mm
200Wランプ一灯タイプ。

ASM2003N

有効御照射エリア 300mm×300mm
200W三灯タイプ。

ASM2503N

有効御照射エリア 300mm×350mm
250W三灯タイプ。

ホットプレート（ヒーター）

最高温度300℃。ステージサイズ 100mm×100mm
ワークへの加温をしながらUV照射処理が可能です。 ASM1101Nなどでのご利用が可能です。

オゾン分解装置

UV洗浄装置と一緒に当装置をご利用いただければ、排気ダクト接続やチャンバー内設置などの手間無く、UV洗浄装置の利用が可能です。

• AOZ013、AOZ014
• AOZ044Ⅱ
• AOZ094

スキャン式エキシマ照射装置
ASM86 Excimer

自動ステージとオゾン分解装置を一体化した研究開発用エキシマ（172nm）照射装置です。 排気設備の準備が不要で、すぐご利用できます。 本装置は、電波法に基づく高周波利用設備の設置に関する届け出は不要です。

接触角計

洗浄改質の効果を定性的に測定可能な接触角計。
自働認識、測定機能標準装備。ソフトウェアインストール済みPCもセットで、届き次第すぐ利用できます。

パージボックス

開発、実験を目的とした置換ボックス（パージボックス）。ボックス内を不活性化ガスでパージ封入し、簡単に各ガス環境下でのUV洗浄テストが可能です。

オゾンレスランプ

有効照射エリア 100mm×100mm
ASM1101N用オゾンレスランプ。184.9nmをカットしたランプです。

紫外線照度計

オーク製作所製 UV-M03A
小型・軽量な、ハンディタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した装置を製造現場で管理する目的に適しています。