高出力・高密度形状の熱陰極合成石英ランプを採用し、研究開発用途の小型モデルから生産用モデルまで低圧水銀ランプを用いたUVオゾン洗浄表面改質装置をラインアップ。
オゾン分解装置や改質評価装置まで豊富なオプション・周辺装置もそろえました。
小型実験装置 200W以上
生産用装置
エキシマ照射装置
その他周辺機器
高出力・高密度形状の熱陰極合成石英ランプを採用し、研究開発用途の小型モデルから生産用モデルまで低圧水銀ランプを用いたUVオゾン洗浄表面改質装置をラインアップ。
オゾン分解装置や改質評価装置まで豊富なオプション・周辺装置もそろえました。
