紫外線照射装置やエキシマ照射装置等、オゾンの発生する小型装置向けに、コンパクトなオゾン分解装置（オゾン分解ユニット）を発売いたしました。
当社製装置だけでなく、他社製のエキシマ照射装置にも対応可能です。
特長
- 高濃度オゾン除去用に開発されたハニカムオゾンフィルターを採用。
- 分解率を向上させた反応型触媒タイプのため、劣化が少なく、寿命の長いフィルターです。
- 不燃タイプですので、安心してご使用頂けます
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