オゾン濃度測定データ

UVオゾン洗浄表面改質は、下記の三つの効果により対象物の表面を洗浄改質します。

1. 波長184.9nm の光が持つエネルギーによる洗浄改質効果
2. 波長253.7nm の光が持つエネルギーによる洗浄改質効果
3. 発生したオゾンO₃による洗浄改質効果

通常は、排気風量によりUV照度を最大になるよう調整されていますが、オゾンによる影響などを確認することも可能です。UV照度の管理だけでなく、オゾン濃度も把握しておきたいといった御要望や、研究開発段階で条件を明確にしておきたいケースなど、当社では出張オゾン濃度測定なども承っておりますので、お気軽にご相談ください。

各標準装置において排気風量を調整することによるオゾンの変化を測定しました。

• UVオゾン洗浄改質装置 ASM1101N、オゾン分解装置 AOZ013
• UVオゾン洗浄改質装置 ASM2001N、オゾン分解装置 AOZ014
• UVオゾン洗浄改質装置 ASM2001N、オゾン分解装置 AOZ044Ⅱ
• UVオゾン洗浄改質装置 ASM2003N、オゾン分解装置 AOZ093
• UVオゾン洗浄改質装置 ASM2503N、オゾン分解装置 AOZ093

ASM1101Nとチャンバー内オゾン濃度データ

使用機材

装置名	型式	メーカー
UV洗浄表面改質装置	ASM1101N　（S/N 212245）	あすみ技研製
オゾン分解装置	AOZ013（S/N 4）	あすみ技研製
オゾンモニタ	EG-3000D　（S/N 1251182）	荏原実業製
紫外線照度計	UV-M03A　（S/N K303926）	オーク製作所製
風速計	WS-06　（S/N 001/T.018335）	カスタム製
データロガー	GL240　（S/N C10731393）	グラフテック製

測定条件

排気風量 0.45m³/min

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	48.7	45.6	44.3	45.7	45.7	46.3	45.7	45.2	46.0	44.2
UV照度 [mW/cm2]	22.5	21.8	19.8	17.5	16.6	15.2	15.0	15.0	14.8	13.9

紫外線照度は、排気風量 1m³に比べ抑えたため、UVランプ冷却不足で照度自体は低下していますが、オゾン濃度は2倍以上となります。

排気風量 1m³/min

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	18.4	18.6	19.4	18.1	18.5	19.2	19.0	18.6	18.7	19.0
UV照度 [mW/cm2]	24.2	24.8	23.5	24.3	24.4	24.2	24.4	23.4	24.0	24.0

ASM2001Nとチャンバー内オゾン濃度データ（AOZ014使用）

使用機材

装置名	型式	メーカー
UV洗浄表面改質装置	ASM2001N（S/N 212734）	あすみ技研製
オゾン分解装置	AOZ014（S/N 8）	あすみ技研製
オゾンモニタ	EG-3000D　（S/N 1251182）	荏原実業製
紫外線照度計	UV-M03A　（S/N K303926）	オーク製作所製
風速計	WS-06　（S/N 001/T.018335）	カスタム製
データロガー	GL240　（S/N C10731393）	グラフテック製

測定条件

オゾン濃度測定箇所　背面部ダクト測定用フランジより極力ダクト中心部に取り込みチューブの先端を配置。

UV照度（254nm）の測定場所。ランプより距離30mm、ステージ中央。

排気風量　0.2m³/min（ダンパー全閉）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	90.5	104.1	110.1	122.5	117.1	126.6	130.9	128.0	130.2	128.9
UV照度 [mW/cm2]	12.2	8.2	6.3	5.1	4.5	4.3	4.7	4.6	4.7	4.7

排気風量　1.1m³/min（ダンパー1/2開）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	27.9	27.9	27.3	27.4	26.9	27.3	28.8	28.5	27.7	27.8
UV照度 [mW/cm2]	33.2	33.0	32.7	32.8	32.3	32.5	32.7	32.7	32.6	32.7

排気風量　1.5m³/min（ダンパー全開）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	23.1	23.1	22.6	22.8	22.6	22.3	23.1	22.3	22.1	23.0
UV照度 [mW/cm2]	30.7	32.5	32.4	33.1	33.4	33.6	33.4	33.6	33.6	33.7

ASM2001Nとチャンバー内オゾン濃度データ（AOZ044Ⅱ使用）

装置名	型式	メーカー
UV洗浄表面改質装置	ASM2001N（S/N 212734）	あすみ技研製
オゾン分解装置	AOZ044Ⅱ（S/N 303088）	あすみ技研製
オゾンモニタ	EG-3000D　（S/N 1251182）	荏原実業製
紫外線照度計	UV-M03A　（S/N K303926）	オーク製作所製
風速計	WS-06　（S/N 001/T.018335）	カスタム製
データロガー	GL240　（S/N C10731393）	グラフテック製

測定条件

オゾン濃度測定箇所　背面部ダクト測定用フランジより極力ダクト中心部に取り込みチューブの先端を配置。

UV照度（254nm）の測定場所。ランプより距離30mm、ステージ中央。

排気風量　0.48m³/min（ダンパー全閉）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	54.5	55.1	55.7	60.3	54.3	58.1	57.7	57.9	57.9	59.2
UV照度 [mW/cm2]	20.8	19.0	18.4	17.3	16.1	15.7	14.8	15.4	14.9	15.1

排気風量　1.6m³/min（ダンパー1/4開）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	23.5	23.2	23.7	24.2	23.5	23.5	23.5	24.2	24.4	23.9
UV照度 [mW/cm2]	30.0	29.8	30.3	30.2	30.2	30.0	30.3	30.3	30.3	30.3

排気風量　3.0m³/min（ダンパー1/2開）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	11.2	10.8	10.6	10.6	10.4	10.3	10.4	10.4	10.5	10.3
UV照度 [mW/cm2]	25.3	24.7	24.2	24.1	23.9	23.9	24.0	24.0	23.7	23.3

排気風量　3.5m³/min（ダンパー全開）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	10.7	9.1	8.8	8.7	8.6	8.5	8.5	8.3	8.5	8.5
UV照度 [mW/cm2]	25.9	24.1	23.5	23.2	23.1	22.8	22.6	22.4	22.5	22.7

ASM2003Nとチャンバー内オゾン濃度データ

使用機材

装置名	型式	メーカー
UV洗浄表面改質装置	ASM2003N1（S/N 212392）	あすみ技研製
オゾン分解装置	AOZ093（S/N 201）	あすみ技研製
オゾンモニタ	EG-3000D　（S/N 1251182）	荏原実業製
紫外線照度計	UV-M03A　（S/N K303926）	オーク製作所製
風速計	WS-06　（S/N 001/T.018335）	カスタム製
データロガー	GL240　（S/N C10731393）	グラフテック製

測定条件

オゾン濃度測定箇所：ASM2003N1背面部ダクト測定用フランジより極力ダクト中心部に取り込みチューブの先端を配置。UV照度（254nm）の測定場所：ランプより30mm。

排気風量　0.6m³/min（ダンパー全閉）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	7.8	71.2	81.2	85.4	89.1	82.3	66.4	56.7	47.8	42.7
UV照度 [mW/cm2]	15.4	12.7	7.7	5.2	4.1	3.5	2.6	2.3	2.5	2.3

排気風量　4.9m³/min（ダンパー1/2開）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	13.2	16.6	16.5	18.0	18.9	18.2	18.0	18.0	18.9	18.4
UV照度 [mW/cm2]	23.4	26.3	26.9	27.0	26.9	26.8	26.7	26.7	26.5	28.6

排気風量　5.5m³/min（ダンパー全開）

経過時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	12.0	15.1	14.6	15.2	15.3	15.6	16.0	15.9	16.5	16.1
UV照度 [mW/cm2]	22.5	25.6	26.2	26.4	26.4	26.4	26.5	26.6	26.5	26.6

ASM2503Nとチャンバー内オゾン濃度データ

使用機材

装置名	型式	メーカー
UV洗浄表面改質装置	ASM2503N（S/N 212565）	あすみ技研製
オゾン分解装置	AOZ093（S/N 201）	あすみ技研製
オゾンモニタ	EG-3000D　（S/N 1251182）	荏原実業製
紫外線照度計	UV-M03A　（S/N K303926）	オーク製作所製
風速計	WS-06　（S/N 001/T.018335）	カスタム製
データロガー	GL240　（S/N C10731393）	グラフテック製

測定条件

オゾン濃度測定箇所　背面部ダクト測定用フランジより極力ダクト中心部に取り込みチューブの先端を配置。

UV照度（254nm）の測定場所。ランプより距離30mm、ステージ中央。

排気風量　0.5m³/min（ダンパー全閉）

時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	132.3	152.9	151.7	131.3	155.0	137.5	136.9	137.7	137.2	158.9
UV照度 [mW/cm2]	16.9	17.3	18.0	18.2	17.5	16.4	15.8	15.0	14.2	13.4

排気風量　4.3m³/min（ダンパー1/2開）

時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	32.7	32.9	32.4	32.8	32.5	31.8	32.7	33.0	32.3	32.2
UV照度 [mW/cm2]	28.0	28.3	28.2	27.9	28.5	28.3	28.4	28.2	28.6	28.9

排気風量　5.5m³/min（ダンパー全開）

時間 [s]	60	120	180	240	300	360	420	480	540	600
オゾン濃度 [ppm]	26.8	28.1	27.4	27.5	27.7	27.7	27.9	28.1	27.3	27.2
UV照度 [mW/cm2]	29.0	29.0	28.9	28.8	29.1	29.0	28.3	28.8	29.1	29.3