ITO基板( Indium Tin Oxide:酸化インジウムスズ)


サイズ :100×100mm
測定ポイント :9ポイント(図1参照)
UV洗浄装置 :ASM1101N
照射時間 :180秒
照射距離 :30mm
接触角計 :B100
着液量 :0.5μL
UV照射測定位置
図1 測定ポイント

着液2秒後の接触角測定データ ITO基板
測定
ポイント
1 2 3 4 5 6 7 8 9 平均 標準偏差
洗浄前 82.87 83.95 89.22 84.31 84.15 88.92 89.41 86.47 84.10 85.93 2.61
洗浄後 15.92 18.76 20.23 18.21 18.32 18.43 17.41 19.28 17.95 18.28 1.20

照射距離及び照射時間推移データ
照射時間 [sec] 0 30 60 90 120 150 180 240 300
照射距離 10mm 87.13 64.38 23.64 19.79 18.27 16.73 16.27 16.53 14.28
照射距離 30mm 87.13 63.33 51.00 16.57 15.84 20.27 17.00 14.80 20.98
照射距離 50mm 87.13 72.36 61.09 27.96 29.51 30.00 19.91 17.78 15.11

照射距離及び照射時間推移データ ITO基板


SiCウエハ

サイズ :Φ104mm
測定ポイント :5ポイント(図2参照)
UV洗浄装置 :ASM1101N
照射時間 :300秒
接触角計 :B100
着液量 :0.5μL
SiCウエハ UV表面改質位置データ
図2 測定ポイント

着液2秒後のデータ C面
測定ポイント 1 2 3 4 5 平均 標準偏差
洗浄前 65.13 64.81 62.35 67.38 63.63 64.66 1.87
洗浄後 4.70 4.61 4.97 5.44 4.95 4.93 0.32

着液2秒後のデータ  C面 SiC

SiCウエハ改質データ C面


着液2秒後のデータ Si面
測定ポイント 1 2 3 4 5 平均 標準偏差
洗浄前 33.72 36.74 35.82 37.33 36.18 35.96 1.38
洗浄後 4.50 4.58 4.40 4.53 5.37 4.68 0.39

照射距離及び照射時間推移データ Si面

照射距離及び照射時間推移 接触角画像


SUS347

UV洗浄装置 :ASM1101N
UV照射条件 :照射距離:10mm
:照射時間:300秒
接触角計 :B100
条件 :着液量:1μL 、着液2秒後計測値
  1 2 3 4 5
洗浄前 98.51 98.72 98.42 98.79 98.56
洗浄後 12.33 13.26 12.21 13.21 14.02

SUS347


インコネル600

UV洗浄装置 :ASM1101N
UV照射条件 :照射距離:10mm
:照射時間:300秒
接触角計 :B100
条件 :着液量:1μL 、着液2秒後計測値
  1 2 3
洗浄前 95.69 97.65 94.57
洗浄後 18.64 24.64 21.91

インコネル600


チタン(99.5%)

UV洗浄装置 :ASM1101N
UV照射条件 :照射距離:10mm
:照射時間:300秒
接触角計 :B100
条件 :着液量:1μL 、着液2秒後計測値
  1 2 3 4 5
洗浄前 98.25 98.23 97.68 97.83 98.19
洗浄後 6.16 6.47 7.04 6.48 7.17

チタン


UV洗浄装置 :ASM1101N
UV照射条件 :照射距離:10mm
:照射時間:300秒
接触角計 :B100
条件 :着液量:1μL 、着液2秒後計測値
  1 2 3 4 5
洗浄前 104.41 103.27 103.04 103.77 105.71
洗浄後 24.83 26.74 27.55 27.00 26.46

銅


ネオジム磁石

材料型式 :HXN5-1
サイズ :φ5mm
ポイント :2ポイント測定
UV洗浄装置 :ASM1101N
照射距離 :30mm
接触角計 :B100
条件 :着液量:0.5μL

ネオジム

時間 [sec] 0 30 60 90 120 300 480 600
接触角(°) 98.78 85.08 78.34 75.09 68.35 42.99 42.06 37.35

ネオジム


アルミニウム A5052 表面白アルマイト処理

サイズ :φ112mm
ポイント :5ポイント
UV洗浄装置 :ASM1101N
照射距離 :30mm
接触角計 :B100
条件 :着液量:1.0μL

アルマイト

時間 [sec] 0 30 60 90 120 300 480
接触角(°) 76.20 66.70 53.40 56.37 43.58 24.34 17.44

アルミニウム


ソーダ石灰ガラス

メーカー :松浪硝子工業製
型式 :S1226
サイズ :76×26mm
ポイント :5ポイント測定
UV洗浄装置 :ASM1101N
照射距離 :30mm
接触角計 :B100
条件 :着液量:1.0μL

アルミニウム

時間 [sec] 0 30 60 90 120 180 300 480
接触角(°) 43.42 39.65 45.01 42.04 23.17 22.38 15.72 4.17

ソーダ石灰硝子


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