カスタマイズモデル

当社UV照射装置向け以外に、オーダーメードのオゾン分解装置をご提供いたします。

導入事例

• 他社製エキシマ照射装置向けに、排気ブロワー付属タイプ。
• 他社製110W紫外線洗浄表面改質装置（セン特殊光源製 PL16-110など）接続用途。
• コロナ放電装置（数10ppm）に排気ブロワー付属タイプ。
• UV硬化装置向け（約1ppm、高排気風量）用途。
• プラズマ表面改質装置（約100ppm）用途。
• 専用排気設備の導入を避けるために、分解装置を導入。
• 量産用エキシマ装置への排気用途。

導入装置イメージ

カスタマイズ事例

エキシマランプ照射部用オゾン分解装置

エキシマ照射ユニット（浜松ホトニクス株式会社製エキシマ照射ユニット FLAT EXCIMER EX-400）向けオゾン分解ユニットの製作事例です。

ランプ冷却ユニットから発生するオゾンとエキシマ照射エリアから発生するオゾンを個別に排気・分解することにより、オゾンによる改質効果を調整できるようにしました。

項目	仕様
装置名	エキシマランプ照射部用オゾン分解装置
型式	ASM512B
電源電圧	AC100V　50Hz　1.2A　125W ※制御ボックス内端子台受け（3φ200V対応可能）
触媒ボックス	外形寸法：(W)367mm×(D)248mm×(H)276.2mm ボックス材質：SPCC　（塗装：アイボリー7.5Y9/1） パッキン材質：シリコン
制御ボックス	外形寸法：(W)180mm×(D)111.2mm×(H)243.2mm ボックス材質：SPCC　（塗装：アイボリー7.5Y9/1） インバータ・ノーヒューズブレーカ付
触媒	オゾン分解フィルター　4面3層
送風機	最大風量：60.0m3/min 最大静圧：0.59kPa インバータボックス接続用ケーブル付：2m
付属品	φ100マニュアルダンパー×1 φ100塩ビダクトース1.5m×1 φ100カフス×2 ホースバンド×6

EX-400の照射エリアのオゾン濃度は40ppm程度になりますが、ASM512Bを使用すると0.1ppm以下にすることが可能です。工場排気に接続しなくても、室内排気（クリールーム内不可）が可能になります。お客様で排気風量を決定して頂ければ、その風量に合わせたユニットのご提案も可能です。また触媒ボックスをSUS304やSUS316に変更することも可能ですので、お気軽にご相談下さい。

エキシマランプ照射冷却排気用オゾン分解装置

項目	仕様
装置名	エキシマランプ照射冷却排気用オゾン分解装置
型式	ASM504B
電源電圧	AC100V　50Hz　1.2A　45W ※送風機ケーブル端末未処理　（ケーブル長170mm）
触媒ボックス	外形寸法：(W)241mm×(D)128mm×(H)184.2mm ボックス材質：SPCC　（塗装：アイボリー7.5Y9/1） パッキン材質：シリコン
触媒	オゾン分解フィルター　4層
送風機	最大風量：2.0㎥/min 最大静圧：0.41kPa
付属品	φ75マニュアルダンパー×1 φ75塩ビダクトース1.5m×1 φ75カフス×2 ホースバンド×6

ASM504BをEX-400のランプユニットのフランジへ接続して頂き、ダンパーを絞って風量を下げて使用して頂く装置になります。ランプユニット側の排気適正風量は0.35㎥/minになります。